模擬型小量程氣體質量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M主要應用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制，采用新型傳感制作工藝，具有響應速度快、準確度高、流量控制穩定、壓力范圍寬、線性度好等優點，適用于絕大多數干燥、干凈的氣體（及少數腐蝕性氣體）。

性能特點：

1、響應速度快     2、耐壓程度高

3、抗干擾性強     4、寬壓力范圍

5、流量控制精準   6、數據傳輸距離遠

技術參數：

氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）   SLM（標準升每分鐘）

標準狀況：溫度--293.15K(20℃)   壓力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示滿量程

模擬型小量程氣體質量流量控制器/流量計AC-S030C/AC-S030M應用行業：真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環境保護設備、各種分析儀器設備、表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備