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熱式氣體流量控制器在雙靶磁控濺射儀的應用

發布時間:2021-11-18人氣:2424

     雙靶磁控濺射儀是一款高真空鍍膜設備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。本公司生產的DC系列的數字型熱式氣體流量控制器在該設備中使用,產品采用全數字架構,新型的傳感制作工藝,通訊方式兼容:0-5V、4-20mA、RS485通訊模式,一鍵切換通訊信號,操作簡單方便。

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     雙室磁控濺射沉積系統是帶有進樣室的高真空多功能 磁控濺射鍍膜設備。它可用于在高真空背景下,充入高純氬氣,采用磁 控濺射方式制備各種金屬膜、介質膜、半導體膜,而且又可以較好地濺 射鐵磁材料(Fe、Co、Ni),制備磁性薄膜。在鍍膜工藝條件下,采用 微機控制樣品轉盤和靶擋板,既可以制備單層膜,又可以制備各種多層 膜,為新材料和薄膜科學研究領域提供了十分理想的研制手段。

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     DC系列的數字型熱式氣體流量控制器正常工作壓力范圍可達:10MPa(100Bar),產品精度優于±1%F.S,響應速度優于2秒且流量值穩定速度也是極快的。閥體過流材質均選用品質良好的316L不銹鋼。供電方式為+15V—24V的寬頻供電,能滿足市面上絕大多數用戶的使用要求和使用習慣。DB9針的電氣接頭,也方便了用戶在使用時的拆裝。具有響應速度快、準確度高、穩定的流量控制、寬壓力范圍、優良的耐腐蝕性和出色的線性度等優點,能監測和控制各種惰性氣體及部分具有腐蝕性的氣體。

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