真空鍍膜機中經常使用到的熱式氣體質量流量控制器主要是用來控制氣體的進氣量，把氣體流量準確的輸入到真空腔室內。AC-S030C系列的氣體質量流量控制器主要是用于控制微小流量的氣體，采用全新的制作工藝，是在20℃，1個大氣壓條件下標定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。

     熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。

     蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。

     松盛測控的各種設備按照客戶需求定制，適用于各行各業，如：高校實驗室、研究單位、工業工廠、醫療和制藥系統、生物技術和化學裝置、食品飲料加工、半導體和電子行業或環境保護等。