熱式氣體質量流量控制器一般用氮氣標定,本質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時與銷售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時,可以通過本公司說明書的附錄表轉換系數進行換算。

質量流量控制器/流量計由流量傳感器、分流器通道、流量放大電路、調節閥、PID 控制電路以及外部接頭、外殼組成。產品的工作原理為:氣體質量流量控制器/流量計采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償),將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等,分流器決定主通道的流量。

松盛測控的AC和DC系列的氣體質量流量計和流量控制器是在20℃,1個大氣壓條件下標定的,主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。根據產品性能特點氣體質量流量計多用于氣密性測試、氣體檢測儀、空氣檢測、半導體設備等氣體流量檢測行業和生產。熱式氣體質量流量控制器多用于氣體動態配比裝置、環境檢測、真空鍍膜、航空航天、光伏行業、精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、食品及制藥產業、氣相色譜儀等相關行業。



