熱式氣體質(zhì)量流量控制器是質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，是一款通過(guò)PID調(diào)節(jié)閥門大小開度來(lái)進(jìn)行控制氣體流量大小的專用閥門。

   熱式流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良。熱式流量計(jì)有兩個(gè)溫度傳感器被置于介質(zhì)中時(shí)，其中一個(gè)傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。耐壓是指熱式氣體質(zhì)量流量控制器能承受的壓力值是多少，簡(jiǎn)而言之是指在多大壓力范圍之內(nèi)使用不會(huì)損壞產(chǎn)品。工作壓差是指在使用時(shí)，流量控制器的進(jìn)氣端和出氣端的壓力兩兩相減的數(shù)值差。

   松盛測(cè)控全線系列的氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器是在20℃，1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。產(chǎn)品精度優(yōu)于±1%F.S，響應(yīng)速度優(yōu)于2秒且流量值穩(wěn)定速度也是極快的。閥體過(guò)流材質(zhì)均選用品質(zhì)良好的316L不銹鋼。供電方式為+15V—24V的寬頻供電，能滿足市面上絕大多數(shù)用戶的使用要求和使用習(xí)慣。DB9針的電氣接頭，也方便了用戶在使用時(shí)的拆裝。緊湊而堅(jiān)固的儀器設(shè)計(jì)，為連續(xù)質(zhì)量流量測(cè)量確保了重復(fù)性，用途非常廣泛，可用于許多不同的行業(yè)和應(yīng)用。安裝位置以及安裝方向?qū)|(zhì)量流量的檢測(cè)無(wú)任何影響，即可隨意安裝且無(wú)直管段要求。