松盛測控的氣體流量自動調節控制閥，可以精 準的控制各種氣體的進氣流量，而且可以根據自動程序控制器進行有序、預設的流量調節。測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經過放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制，即是完成MFC的功能。

   氣體流量自動調節控制閥在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

   在標準型流量控制器的基礎上為各種復雜工況設計，可在高壓環境10Mpa下進行氣體流量的測量和控制，精度優于±1.0%滿量程。同時，還有一體顯示的氣體流量計，觸屏式操作的自由切換，實時顯示瞬時流量、累計流量、通訊方式、通訊地址等參數信息，助力您高效、精準的進行實驗研究。